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應(yīng)用案例

晶片膜厚自動(dòng)測(cè)量及分類機(jī)

1、兼容多種材料，多層膜厚測(cè)量的解決方案

2、同質(zhì)外延膜厚測(cè)量解決方案

3、微區(qū)膜厚測(cè)量解決方案

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